当前位置: 首页» 师资队伍» 讲师及助教
讲师及助教

黄雅婷

作者:   来源:材料与机械工程学院  时间:2015-04-02   浏览次数:

黄雅婷,女,博士,讲师。2005年毕业于清华大学精密仪器与机械学系,获工学学士学位;2010年毕业于清华大学精密仪器与机械学系,获工学博士学位。

研究方向为摩擦学、表界面理论与技术。具体如下:纳米至原子尺度下表面间相互作用机理研究;纳米摩擦学,摩擦机理研究;半导体制造工艺中的化学机械抛光技术及超净表面制备技术;扫描探针显微镜在微纳米尺度摩擦学方面的应用研究。

负责国家自然科学基金青年基金一项,清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金,北京市委组织部优秀人才项目等。

代表论文:

[1]Huang Y T, Li Y, Guo D, et al. Probing particle removal in brush scrubber cleaning with fluorescence technique. Sci China Tech Sci, 2013, 56:2994-3000

[2]Yating Huang, Dan Guo, Xinchun Lu, Jianbin Luo Modeling of particle removal processes in brush scrubber cleaningWear, Volume 273, Issue 1, November 2011, Pages 105-110

[3] 黄雅婷,孟春玲,董秀萍,路新春,铜互连兆声清洗中结构损伤预测的有限元分析, 光学精密工程,2013, 21(8) 2064-2070

[4]Yating Huang, Dan Guo, Xinchun Lu , Jianbin Luo, A lubrication model between the soft porous brush and rigid flat substrate for post-CMP cleaning, Microelectronic Engineering, Volume 88, Issue 9, September 2011, Pages 2862-2870

[5] YT Huang, CL Meng, NP Wu, XP Dong, XC Lu, Finite Element Analysis of Failure in Cu Interconnect Megasonic Cleaning, Key Engineering Materials 562, 1471-1476

[6] YT Huang, XP Dong, Simulation of Acoustic Field for Megasonic Bath Cleaning in Advanced Semiconductor Manufacturing, Applied Mechanics and Materials 289, 81-86